首先在(zai)單晶爐(lu)作業前(qian)，要做好(hao)準備工(gong)作，然後(hòu)開始進(jìn)行熱态(tài)檢漏，檢(jiǎn)漏的要(yao)求在3分(fen)鍾以上(shàng)，同時要(yào)做好記(jì)錄。接下(xià)來将單(dān)晶和籽(zi)晶取出(chu)，冷卻後(hòu)要對單(dan)晶進行(hang)參數檢(jiǎn)測，同樣(yang)需要做(zuo)好記錄(lù)。接着将(jiang)石墨件(jian)取出做(zuo)好冷卻(què)工作，之(zhi)後要對(dui)進行重(zhong)量檢測(ce)并做記(ji)錄。然後(hòu)在通過(guo)真空過(guò)濾器來(lai)進行清(qing)洗，真空(kong)泵油的(de)檢查更(gèng)換。完成(cheng)以上步(bu)驟，就要(yào)開始對(dui)石墨，單(dan)晶爐的(de)室内進(jìn)行清洗(xi)了，知道(dao)确認沒(méi)有污物(wu)爲止。接(jiē)下來就(jiù)是對石(shí)墨的，石(shi)英坩埚(guo)，籽晶進(jin)行安裝(zhuāng)，然後進(jìn)行抽空(kōng)繼續檢(jiǎn)漏。最後(hòu)引晶，縮(suō)頸，放肩(jian)，轉肩，然(ran)後等徑(jìng)生長。最(zuì)後單晶(jīng)爐 就進(jìn)入收尾(wěi)工作了(le)。