單晶(jīng)爐在運作過程(cheng)中因爲一直都(dōu)會處于高溫的(de)狀态下，對其他(tā)的零部件要求(qiu)高且嚴格，因爲(wèi)需要維持長時(shi)間的工作，所以(yǐ)需要特别注意(yi)定期進行必要(yào)的維護保養。

1、坩(gān)埚驅動裝置要(yào)求的運動精度(dù)比較高，是設備(bèi)的核心運動部(bù)件，應重點維護(hù)。坩埚軸是石墨(mo)坩埚的支撐軸(zhou)，應随時檢查其(qi)冷卻水的情況(kuàng)，以免燒損。

坩埚(guō)驅動采用滾珠(zhu)絲杠和直線導(dǎo)軌結構，是坩埚(guo)驅動的關鍵部(bu)件，需保持清潔(jie)，嚴禁灰塵、雜物(wù)附着，并定期塗(tú)抹潤滑脂。

2、籽晶(jīng)旋轉及提升機(jī)構的維修

籽晶(jing)旋轉及提升機(ji)構也是單晶爐(lu)的關鍵部件，該(gāi)部件運行的好(hao)壞直接影響單(dān)晶的生長。因此(cǐ)，也須重點維護(hù)。

卷輪箱是籽晶(jīng)提升的核心，卷(juan)輪箱内的零件(jiàn)一般情況下不(bu)得随意拆除，必(bi)須拆除時，重新(xin)安裝時必須保(bao)證軟軸對中。軟(ruǎn)軸鋼絲繩在使(shi)用中不準有死(si)彎現象，并在每(mei)次開爐時檢查(cha)鋼絲繩是否燒(shao)損，如有燒損應(yīng)及時修整或更(geng)換新的鋼絲繩(sheng)。

除了上面的兩(liang)點之外，在每次(cì)開爐前應檢查(chá)水路系統是否(fou)暢通，水溫檢測(cè)傳感器安裝是(shì)否正常。發現有(you)結垢時應及時(shi)清理。在拉晶過(guò)程中，若發現水(shuǐ)壓報警或漏水(shui)時要及時采取(qu)措施。真空管道(dao)的過濾網每爐(lú)要清理一次，抽(chou)氣管道每20～30爐清(qīng)理一次。

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