單晶爐爐室(shì)内的工作溫(wen)度高達1400℃甚至(zhì)更高，故其殼(ké)體需爲夾層(céng)結構以便通(tōng)水冷卻，主輔(fǔ)爐室之間，觀(guān)察口、抽氣口(kou)等處要施以(yi)靜密封，籽晶(jīng)坩埚等運動(dong)部件處要施(shi)以動密封，這(zhe)些都對提高(gāo)單晶爐整體(ti)密閉性增加(jiā)了難度。同時(shi)也對真空密(mì)閉性能的檢(jiǎn)驗提出了更(gèng)高的要求。

    鑒(jian)于奧氏體不(bu)鏽鋼防鏽、強(qiáng)度高、塑性及(ji)韌性好、焊接(jie)性能優良、順(shùn)磁性、導熱導(dǎo)電性低等特(te)點，幾乎所有(yǒu)的單晶爐爐(lú)室都采用00Crl8Ni9Ti(SuS304L)不(bu)鏽鋼材料，采(cai)用鎢極氩弧(hu)焊(rnG)或熔化極(ji)氩弧焊(MIG)。

    制造(zao)過程中對單(dan)個零件的檢(jian)驗，主要是對(duì)采用焊接工(gōng)藝零件焊縫(feng)的檢驗，防止(zhǐ)焊接過程中(zhōng)的虛焊漏焊(hàn)，杜絕裂紋氣(qi)孔，及時發現(xian)問題采取補(bǔ)救措施。

    外觀(guan)檢驗法

    對焊(han)接焊縫最簡(jiǎn)單的檢驗方(fang)法是外觀檢(jian)驗，用肉眼或(huò)低倍(小于20倍(bei))放大鏡對焊(han)縫表面缺陷(xian)進行檢查。外(wài)觀檢驗之前(qian)，焊縫的表面(mian)污物應清除(chu)幹淨。外觀檢(jian)驗的主要内(nèi)容是檢查焊(hàn)縫的尺寸是(shì)否符合要求(qiú)，是否有咬口(kou)、焊瘤、表面氣(qi)孔、表面裂縫(féng)等缺陷。對檢(jiǎn)查出的焊接(jiē)缺陷，須及時(shi)修補後，再次(ci)進行檢驗。外(wai)觀檢驗隻能(neng)發現表面宏(hóng)觀的缺陷。

    着(zhe)色檢驗法

    着(zhe)色檢驗法的(de)原理是用着(zhe)色劑來顯示(shi)缺陷。着色檢(jian)驗不需專門(men)裝置，隻要配(pèi)置适宜的着(zhe)色劑、顯現粉(fen)，即可獲得檢(jian)驗結果。其工(gong)作原理是基(ji)于毛細管作(zuo)用來實現的(de)。先用合适的(de)溶劑将焊縫(feng)清洗幹淨，并(bing)讓其幹燥，接(jiē)着噴上着色(se)劑，等待一段(duan)時間，流動性(xìng)和滲透性良(liang)好的着色劑(jì)便滲入到焊(hàn)件表面的縫(feng)隙中，然後将(jiāng)焊件表面再(zài)次擦拭幹淨(jing)并噴上顯現(xian)粉，侵人焊件(jian)縫隙中的着(zhe)色劑，則由于(yu)毛細管現象(xiàng)上滲到顯現(xian)粉中來，呈現(xiàn)出缺陷的形(xing)象。雖然着色(sè)檢驗也隻能(néng)發現表面的(de)缺陷，但根據(ju)着色顯現出(chū)來的大小可(kě)以幫助判定(ding)缺陷的大小(xiǎo)，比其外觀檢(jian)驗效果更好(hǎo)。

    X射線檢驗法(fǎ)

    要對焊縫的(de)内部缺陷進(jin)行檢驗，既準(zhun)确又可靠的(de)方法是x射線(xian)檢驗。利用x射(shè)線來檢驗焊(han)縫的方法目(mu)前應用最廣(guǎng)泛的是照相(xiang)法。這種方法(fǎ)就是在被檢(jian)驗焊縫的後(hòu)面放置一張(zhāng)膠片，x射線從(cóng)前面透人。當(dang)x射線經過被(bèi)檢驗的焊縫(feng)後，由于焊縫(feng)金屬和焊縫(féng)缺陷的密度(du)不同，對X射線(xian)的能量衰減(jian)和吸收不同(tong)，而到達膠片(piàn)上的x射線強(qiang)度也不同，膠(jiāo)片的感光程(chéng)度不一樣，經(jīng)過顯影後得(dé)到的底片黑(hei)化度也就不(bú)同，有缺陷處(chu)x射線吸收少(shao)，透過的x射線(xiàn)強度較大，底(di)片感光較強(qiáng)，顯影比較黑(hēi)；無缺陷處底(dǐ)片感光則較(jiào)弱，顯影後呈(chéng)淡白色。這樣(yàng)，觀察底片上(shàng)的影像就能(néng)發現焊縫有(yǒu)無缺陷及缺(que)陷的種類、大(da)小和位置。

    水(shuǐ)壓檢驗

    對單(dān)晶爐中殼體(ti)爲夾層結構(gòu)的零件，除采(cǎi)用上述方法(fa)外，還可以采(cǎi)用水壓法檢(jiǎn)驗夾層是否(fǒu)有缺陷。水壓(ya)法檢驗是在(zài)單晶爐殼體(ti)上留一個入(rù)口用水将夾(jiá)層灌滿，并堵(dǔ)好其餘的出(chū)口，用水泵把(ba)夾層内的水(shuǐ)壓提高到3．2kg／cm2左(zuǒ)右，進行強壓(ya)試驗，并維持(chí)15min以上，壓力不(bu)能有下降，同(tóng)時檢查焊縫(feng)上是否有水(shui)滴或水迹出(chū)現，如果出現(xian)則表明該處(chù)有滲漏缺陷(xiàn)，應做出标記(ji)，以便修補。水(shuǐ)壓法檢驗方(fāng)法簡單，容易(yì)找出缺陷的(de)具體位置，不(bu)過其最小可(ke)檢漏率隻能(néng)達到10“Pa·L／s，對極其(qí)微小的缺陷(xian)就無能爲力(li)了。

    氦質譜檢(jiǎn)驗法

    用于 單(dān)晶爐 的真空(kong)殘餘氣體分(fèn)析的質譜計(ji)都可以用來(lai)檢漏，特别是(shi)用氦做示漏(lòu)氣體的質譜(pu)檢漏儀，是真(zhen)空檢漏中靈(líng)敏度最高、用(yong)得最普遍的(de)一種檢漏儀(yí)器，其最小可(ke)檢漏率能達(da)到10。11Pa·L／s。目前的氦(hài)質譜檢漏儀(yi)基本上都是(shì)磁偏轉型的(de)，其實質是一(yī)種對氦分壓(ya)變化有反應(yīng)的儀器。單晶(jing)爐殼體夾層(céng)用氦質譜檢(jian)漏儀進行檢(jiǎn)驗，首先要留(liú)～個入口接上(shàng)真空管路，堵(du)好殼體上其(qí)他的出口，再(zai)用輔助真空(kōng)泵抽真空，真(zhen)空度達到10Pa以(yi)下後，才能打(dǎ)開與之相連(lian)的氦質譜檢(jian)漏儀，然後用(yòng)氦氣在疑有(you)漏孔處進行(hang)噴吹，檢查檢(jiǎn)漏儀指示是(shì)否有變化，如(ru)發現有變化(hua)時，應再做幾(ji)次複檢，确定(dìng)漏孔的具體(tǐ)位置。氦質譜(pǔ)檢漏的設備(bei)都較昂貴，因(yin)此應盡可能(néng)采用其他較(jiao)爲經濟的檢(jiǎn)漏方法。