真(zhēn)空爐系(xi)統中的(de)油擴散(san)泵是靠(kào)高速蒸(zheng)汽射流(liu)來攜帶(dai)氣體以(yi)達到抽(chōu)氣的目(mu)的,它工(gōng)作在高(gao)真空區(qu)域,其工(gong)作壓強(qiang)範圍爲(wèi)10-2~10-6pa。油蒸汽(qi)從傘形(xíng)噴咀(如(rú)I級噴咀(jǔ))以超音(yīn)速噴出(chu)後,其速(sù)度逐漸(jian)增大,壓(ya)力及密(mì)度逐漸(jian)降低。
1.概(gai)述 油擴(kuò)散泵的(de)工作原(yuan)理與水(shuǐ)蒸汽噴(pen)射泵相(xiàng)似,都是(shi)靠高速(su)蒸汽射(shè)流來攜(xie)帶氣體(ti)以達到(dào)抽氣的(de)目的,故(gu)有如水(shuǐ)蒸汽噴(pen)射泵相(xiang)似的特(tè)點。不同(tóng)點是擴(kuo)散泵工(gōng)作在高(gao)真空區(qu)域,其工(gōng)作壓強(qiáng)範圍爲(wèi)10-2~10-6pa。廣泛用(yòng)于電子(zi)、化工、冶(yě)金、機械(xie)、石油及(jí)原子能(neng)等工業(yè)部門中(zhōng)。
2.油擴散(sàn)泵的工(gong)作原理(lǐ)與結構(gòu)
當油蒸(zhēng)汽從傘(sǎn)形噴咀(ju)(如I級噴(pēn)咀)以超(chao)音速噴(pen)出後,其(qí)速度逐(zhú)漸增大(dà),壓力及(jí)密度逐(zhu)漸降低(dī),射流上(shàng)邊的被(bei)抽氣體(tǐ)A因密度(dù)差要向(xiang)蒸汽射(shè)流中擴(kuò)散并被(bei)射流攜(xie)帶到水(shui)冷的泵(beng)壁處B,在(zài)B處,工作(zuò)蒸汽大(dà)部分被(bèi)冷凝成(chéng)油滴沿(yan)泵壁流(liu)回到油(yóu)鍋中循(xún)環使用(yong),而被抽(chōu)氣體在(zai)B處堆積(ji)、壓縮,最(zui)後被下(xià)級射流(liu)攜帶走(zǒu),以達到(dào)逐級壓(ya)縮,最後(hòu)被前級(ji)泵抽走(zou)。