直(zhí)拉式單晶爐(lu)是采用直拉(lā)法（M3）生産無位(wei)錯矽單晶的(de)重要設備，目(mu)前世界上80%以(yǐ)上的矽單晶(jing)錠的生産采(cǎi)用直拉式矽(xī)單晶爐"随着(zhe)集成電路産(chǎn)業的發展，對(duì)設備要求裝(zhuang)料量大于250kg,拉(la)制矽單晶直(zhi)徑大于300mm(12英寸(cun))，因此晶體的(de)生長時間長(zhǎng)，通常大于50h，對(duì)設備的穩定(ding)性要求高，而(er)設備的結構(gòu)是設備的基(jī)礎，其設備的(de)結構和穩定(dìng)性對整個晶(jīng)體生長拉晶(jīng)過程有重要(yao)的影響"直拉(lā)式單晶爐結(jie)構的靜力分(fèn)析是整個結(jié)構分析的基(ji)礎。目前最常(chang)用也最有效(xiao)的結構分析(xi)方法就是仿(páng)真，通過模拟(nǐ)實際工作環(huan)境，了解可能(neng)出現的結構(gòu)問題，從而進(jìn)行改進。而有(you)限元等數值(zhí)分析理論與(yu)計算機結合(hé)，出現了一大(da)批可以進行(hang)各方面仿真(zhen)的大型軟件(jian)，它們爲設計(jì)階段進行模(mo)拟仿真提供(gòng)軟件支持。在(zai)進行結構分(fen)析和設計中(zhōng)，很多時候需(xū)要具體部位(wèi)的宏觀載荷(hé)值"通過實驗(yàn)的方法獲取(qu)的宏觀力較(jiao)爲準确，但在(zài)受到條件限(xiàn)制而無法通(tong)過實驗測出(chu)宏觀力時，往(wǎng)往根據材料(liào)力學方法，采(cai)用估算的方(fang)式，将載荷平(ping)均或按一定(ding)經驗分配來(lái)獲得近似結(jie)果，導緻誤差(cha)較大。本文通(tong)過仿真分析(xi)的方法對直(zhi)拉式單晶爐(lu)部件進行結(jié)構分析，采用(yòng)有限元法的(de)件分析獲得(dé)微觀的應力(lì)分布，根據微(wēi)觀應力與宏(hong)觀載荷間的(de)關系，從微觀(guān)應力理論上(shang)準确的計算(suàn)出宏觀載荷(hé)"。

    直拉式單晶(jīng)爐的基本結(jié)構由機架和(hé)爐室兩大部(bu)分組成，機架(jià)作爲設備的(de)主體支撐部(bu)分，其結構性(xìng)能十分重要(yao)。本文以直拉(lā)式單晶爐爲(wei)研究對象，建(jiàn)立了機架部(bù)分的有限元(yuán)模型，采用軟(ruǎn)件對其進行(háng)靜力分析，同(tóng)時利用該分(fèn)析結果和軟(ruǎn)件提供的強(qiáng)大後處理功(gong)能，從微觀應(yīng)力分布中提(ti)取計算出底(dǐ)座下各墊鐵(tiě)的宏觀載荷(hé)情況，對單晶(jīng)爐靜态特性(xing)進行判定，爲(wèi)改善其結構(gou)性能提供了(le)依據。